06-09-2007 Вплив легування на структуру та електрофізичні властивості напівпровідникового кремнію.
Вивчена мікроструктура та електрофізичні властивості зразків нелегованого монокристалічного напівпровідникового кремнію та кремнію, легованого B, Sn, Ge, Hf, Zr та композиціями B+Sn, B+Mo після різних видів термічної обробки. Показано, що термічна обробка монокремнію та кремнію, легованого B, Sn, Ge, Hf, Zr, B+Sn, B+Mo в області субкритичних температур I фазового перетворення позитивно впливає на електрофізичні властивості напівпровідникових приладів.
В.З. Куцова, О.А. Носко
